廷源科技有限公司
Ting Yuan Technology Co., Ltd.
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品質檢測 & 自動光學量測系統
12吋平面度量測機
12吋平面度量測機
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12吋平面度量測機
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彩色共焦雷射位移計
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產品敘述
可快速量測高度、平面度量測機
並提供客制化軟硬體服務
產品特性
實際運轉
產品規格
TYC-007
TYC-015
TYC-030
TYC-070
應用距離
7mm
15mm
30mm
70mm
量測範圍
7±1.5mm
1.5±1.3mm
30±3.7mm
70±10mm
線性度
±2.1μm
±0.49μm
±0.94μm
±2.2μm
解析度
0.25μm
光點直徑
∅750μm
∅300μm
∅500μm
∅600μm
取樣週期
100/200/500/1000 μs