服務介紹

12吋平面度量測機

產品名稱

12吋平面度量測機

彩色共焦雷射位移計
產品敘述
可快速量測高度、平面度量測機
並提供客制化軟硬體服務





產品特性
實際運轉
產品規格
  TYC-007 TYC-015 TYC-030 TYC-070
應用距離 7mm 15mm 30mm 70mm
量測範圍 7±1.5mm 1.5±1.3mm 30±3.7mm 70±10mm
線性度 ±2.1μm ±0.49μm ±0.94μm ±2.2μm
解析度 0.25μm
光點直徑 ∅750μm ∅300μm ∅500μm ∅600μm
取樣週期 100/200/500/1000 μs